AccuSizer Mini for Online CMP Monitoring Tanecik Boyutu Ölçüm
 

AccuSizer Mini for Online CMP Monitoring

Tanecik Boyutu Ölçüm

AccuSizer Mini, sensörleri ve akışkan opsiyonlarını müşteri bulamaçlarına ve proses ekipmanına uydurmamızı sağlayan modüler bir tasarım yaklaşımı kullanarak tasarlanmıştır.



 

Pek çok numune, seyreltmeden sürekli olarak ölçülebilir, bkz. Şekil 1. Bazı numuneler, büyük partikül sayılarına (LPC) karşı maksimum duyarlılık için seyreltme gerektirir. Çeşitli özel, patentli otomatik deriştirme modülleri, mükemmel örnek durumunun ölçüm için sensöre iletilmesini sağlar. Tek Parçacık Optik Boyutlandırma (SPOS) tekniği kullanılarak odaklanmış boyut aralıklarında ve konsantrasyon limitlerinde çalışan bir dizi sensör, en yüksek hassasiyet sonuçları sağlar. Darbe yükseklik analizörü, 512 büyüklüğe kadar kanalda yüksek çözünürlüklü sonuçlar üretir - müşterilerin tercih edilen spesifikasyon noktalarında sonuçları rapor edebilmesi için kullanıcı tanımlı maksimum 32 kanala kadar dahil. Sistem, yerleşik bir Windows Dokunmatik PC ile kontrol edilir.

AccuSizer Mini, en yüksek doğruluk ve çözünürlük sonuçlarını hızla üretir ve sayma hızları diğer herhangi bir teknolojiden daha yüksektir. Bu, en iyi istatistiksel doğrulukla LPC ve kuyruk sonuçlarını yaratır - verim oranlarınızı zedeleyecek birkaç büyük parçacık tespit edilerek, aşağıda pompa arızasında 1 milyon / mL civarındaki LPC konsantrasyon seviyelerine bakın.

Foto Galeri